用于质量流量控制器的控制器增益调度[发明专利]

来源：好土汽车网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：用于质量流量控制器的控制器增益调度专利类型：发明专利发明人：丁军华

申请号：CN200780044834.0申请日：20070712公开号：CN1016361A公开日：20100127

摘要：一种具有反馈控制器增益的质量流量控制器，包括：构造成探测流经所述控制器的流体流量的传感器；设置成调节流经所述控制器的流体流量的阀；以及构造成按照所述传感器所测得的流体流量的函数来控制所述阀的处理器。所述传感器和阀设置在反馈系统内，且所述处理器基于至少一个校准气体参数与至少一个工作气体参数的比值而实时修正反馈控制器增益，以使得反馈系统的闭环传递函数无关于工作条件而保持基本上恒定，从而在不同于校准条件的工作条件下具有一致的控制性能。

申请人：MKS仪器公司

地址：美国马萨诸塞

国籍：US

代理机构：永新专利商标代理有限公司

代理人：王永建

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文