用于非晶硅电池沉积的等离子体气相沉积设备[实用新型专利]

来源：好土汽车网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：用于非晶硅电池沉积的等离子体气相沉积设备专利类型：实用新型专利发明人：陈五奎,雷晓全,王斌申请号：CN201220536151.5申请日：20121019公开号：CN2028537U公开日：20130424

摘要：本实用新型涉及太阳能领域，尤其涉及用于非晶硅电池沉积的等离子体气相沉积设备。本实用新型采取如下技术方案：用于非晶硅电池沉积的等离子体气相沉积设备，其特征在于，包含沉积室，沉积室内壁有传热管道，沉积室通过管道和外部连接，沉积室包含可开的一面门，沉积室内部有运动导轨以及压力传感器和温度传感器。采用如上技术方案的本实用新型，具有如下有益效果：镀膜效果好，节省加热能源，可以精确实现限位，使得整个装置运行稳定。

申请人：陕西拓日新能源科技有限公司

地址：715200 陕西省渭南市澄城县醍醐村东拓日太阳城

国籍：CN

代理机构：北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：孟海娟

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