专利名称：一种金属有机化学气相沉积反应器专利类型：发明专利发明人：袁述,楼刚
申请号：CN201110113920.0申请日：20110504公开号：CN102766851A公开日：20121107
摘要：本发明提供一种反应器，包括炉盖、保护板(ceiling)、沉积区、衬托和底部，设置多层保护板，延长保护板的更换周期，提高生长稳定性。炉盖下方是多层的保护板，保护板下方是衬托，炉盖和保护板之间通过管道通有净化气体，保护板和衬托之间通有从炉盖上方延伸的管道。
申请人：广东量晶光电科技有限公司
地址：528251 广东省佛山市南海区平洲南港大道昭信广场503室
国籍：CN
代理机构：北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：曹津燕
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