(12)发明专利申请
(21)申请号 CN202010101234.0 (22)申请日 2020.02.19
(71)申请人 无锡市江松科技有限公司
地址 214000 江苏省无锡市无锡新区硕放工业集中区五期C20-2号地块
(10)申请公布号 CN1112737A
(43)申请公布日 2020.06.12
(72)发明人 汤亚东
(74)专利代理机构 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 朱晓林
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
()发明名称
槽式制绒上料机及硅片上料流程
(57)摘要
本发明公开了槽式制绒上料机及硅片上料
流程,涉及硅片搬运技术领域。通过花篮输跑道、堆叠盒输送跑道和硅片输送跑道实现了花篮、堆叠盒与硅片的输送与流转,通过堆叠盒升降顶片装置的设置使得硅片能从堆叠盒中被获取,通过双工位吸盘装置从堆叠盒获取硅片,同时将硅片放置在硅片输送跑道上进行输送,通过装片装置的设置使得硅片能够进入花篮,通过花篮翻转装置的设置,使得原来朝向槽式制绒上料
机的花篮中的硅片能够进行翻转从而使得硅片方向朝向反应炉,实现了与反应炉的对接。
法律状态
法律状态公告日
2020-06-12 2020-06-12 2020-07-07
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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公开 公开
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权利要求说明书
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说明书
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