(12)实用新型专利
(21)申请号 CN201020158657.8 (22)申请日 2010.04.14
(71)申请人 湖南红太阳新能源科技有限公司
地址 410111 湖南沙市天心区新开铺路1025号
(10)申请公布号 CN201695088U
(43)申请公布日 2011.01.05
(72)发明人 汤辉;刘贤金;彭志红
(74)专利代理机构 长沙正奇专利事务所有限责任公司
代理人 马强
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
()发明名称
一种槽式多晶硅湿法制绒设备
(57)摘要
一种槽式晶体硅湿法制绒设备,包括
底部设有排液口的反应槽,注有药液的反应槽的底部设有二级注液管,该二级注液管经一级注液管同药液循环泵的出液口连通,该泵的进液口经输液管路同反应槽连通;反应槽的二级注液管上方装有液体匀流板,在二级注液管和液体匀流板之间装有二级毛细冷凝管,二级毛细冷凝管经一级冷凝管及串接在一级冷凝管中的制冷液循环泵、注有制冷液的冷却水箱组成制冷液循环系统;设有控制器的压缩制冷装置的蒸发器位于冷却水箱
的制冷液中。可使反应槽内所有硅片表面的药液浓度和温度分布均匀,能有效改善制绒效果,降低反射率,提高产品质量。 法律状态
法律状态公告日
2011-01-05 2012-05-23
法律状态信息
授权
避免重复授权放弃专利权
法律状态
授权
避免重复授权放弃专利权
权利要求说明书
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说明书
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