栅极结构与主动区的重叠偏移量的测量方法[发明专利]

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专利名称：栅极结构与主动区的重叠偏移量的测量方法专利类型：发明专利发明人：张明成,林正平申请号：CN02127141.0申请日：20020725公开号：CN1471148A公开日：20040128

摘要：本发明涉及一种栅极结构与主动区的重叠偏移量的测量方法，其中主动区具有第一、第二侧边，第一至第N栅极结构互距一既定间隔地设置该主动区上，且上述第一、第N栅极结构与上述第一、第二侧边皆预定要重叠一既定宽度，该方法包括：提供一矩形掺杂区，设置于上述第一至第N栅极结构的下方，且具有一第一、第二测试边，分别对齐于上述主动区的第一、第二侧边；施加一第一电压至第一测试边上方的第一栅极结构，并且将位于第二测试边上的第N栅极结构接地；测量第一电压在掺杂区上的分压；根据分压，判断上述第一及第N栅极结构与上述第一测试边及第二测试边是否有偏移及产生的重叠偏移量ΔW。

申请人：南亚科技股份有限公司

地址：省桃园县

国籍：CN

代理机构：隆天国际知识产权代理有限公司

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