用于测试界面电阻的器件、界面电阻测试方式及应用

（12）发明专利说明

（21）申请号 CN201710608281.2 （22）申请日 2017.07.24

（71）申请人 协鑫集成科技股份有限公司;协鑫集成科技(苏州)有限公司

地址 201406 上海市奉贤区南桥镇江海经济园区

（10）申请公布号 CN107465391B

（43）申请公布日 2019.03.29

书

（72）发明人 杨黎飞;张闻斌;李杏兵

（74）专利代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人 王乐

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

用于测试界面电阻的器件、界面电阻测试方式及应用

（57）摘要

本发明涉及一种用于测试界面电阻的器

件，其包括器件主体，第一电极，位于器件主体的一侧；以及第二电极，位于器件主体的另一侧；器件主体包括：晶体硅片，第一本征层，位于晶体硅片靠近第一电极的一侧；第一掺杂非晶硅层，位于第一本征层靠近第一电极的一侧；第一掺杂非晶硅层与晶体硅片同型。上述器件，可模拟待检测的异质结太阳能电池的界面电阻情况，进而通过测量该器件的总电阻，除去其它电

阻，进而获得器件的界面电阻，继而得到待检测的异质结太阳能电池的界面电阻；也即通过上述器件可以测试异质结太阳能电池的界面电阻，并且进行无损测试。本发明还提供了一种界面电阻测试方式及应用。

法律状态

法律状态公告日

2017-12-12 2017-12-12 2017-12-12 2017-12-12 2018-01-05 2018-01-05 2018-01-05 2019-03-29 2019-03-29 2020-08-21

法律状态信息

公开 公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权

专利申请权、专利权的转移

法律状态

公开 公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权

专利申请权、专利权的转移

权利要求说明书

用于测试界面电阻的器件、界面电阻测试方式及应用的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书

用于测试界面电阻的器件、界面电阻测试方式及应用的说明书内容是....请下载后查看